微导纳米(688147):江苏微导纳米科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券上市公告书

时间:2025年08月22日 19:21:11 中财网

原标题:微导纳米:江苏微导纳米科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券上市公告书

股票简称:微导纳米 股票代码:688147江苏微导纳米科技股份有限公司 JiangsuLeadmicroNanoTechnologyCo.,Ltd. (江苏省无锡市新吴区长江南路27号) 向不特定对象发行可转换公司债券 上市公告书 保荐人(主承销商)第一节重要声明与提示
江苏微导纳米科技股份有限公司(以下简称“微导纳米”、“发行人”、“公司”或“本公司”)全体董事、监事和高级管理人员保证上市公告书的真实性、准确性、完整性,承诺上市公告书不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏,并承担个别和连带的法律责任。

根据《中华人民共和国公司法》(以下简称“《公司法》”)《中华人民共和国证券法》(以下简称“《证券法》”)等有关法律、法规的规定,公司董事、高级管理人员已依法履行诚信和勤勉尽责的义务和责任。

中国证券监督管理委员会(以下简称“中国证监会”)、上海证券交易所(以下简称“上交所”)、其他政府机关对公司可转换公司债券上市及有关事项的意见,均不表明对公司的任何保证。

公司提醒广大投资者注意,凡本上市公告书未涉及的有关内容,请投资者查阅披露于上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)的《江苏微导纳米科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券募集说明书》(以下简称“《募集说明书》”)全文。

如无特别说明,本上市公告书中的简称或名词的释义与公司可转换公司债券募集说明书中的相同。

参与科创板可转债的投资者,可将其持有的可转债进行买入或卖出操作。但不符合科创板股票投资者适当性管理要求的投资者,不能将其所持科创板可转债转换为股票,投资者需关注因自身不符合科创板股票投资者适当性管理要求而导致其所持可转债无法转股所存在的风险及可能造成的影响。

第二节概览
一、可转换公司债券中文简称:微导转债

二、可转换公司债券代码:118058。

三、可转换公司债券发行量:117,000.00万元(1,170.00万张)。

四、可转换公司债券上市量:117,000.00万元(1,170.00万张)。

五、可转换公司债券上市地点:上海证券交易所。

六、可转换公司债券上市时间:2025年8月27日。

七、可转换公司债券存续的起止日期:2025年8月6日至2031年8月5日。

八、可转换公司债券转股的起止日期:2026年2月12日至2031年8月5日。

九、可转换公司债券的付息日:每年的付息日为自本次可转换公司债券发行首日起每满一年的当日。如该日为法定节假日或休息日,则顺延至下一个交易日,顺延期间不另付息。每相邻的两个付息日之间为一个计息年度。

付息债权登记日:每年的付息债权登记日为每年付息日的前一交易日,公司将在每年付息日之后的五个交易日内支付当年利息。在付息债权登记日前(包括付息债权登记日)申请转换成公司股票的可转换公司债券,公司不再向其持有人支付本计息年度及以后计息年度的利息。

十、可转换公司债券登记机构:中国证券登记结算有限责任公司上海分公司。

十一、保荐人(主承销商):中信证券股份有限公司。

十二、可转换公司债券的担保情况:本次发行的可转债不提供担保。

十三、可转换公司债券信用级别及资信评级机构:上海新世纪对本次发行的可转债进行了评级,根据上海新世纪出具的信用评级报告,主体信用等级为“AA”,本次可转债信用等级为“AA”,评级展望为稳定。在本次发行的可转债存续期间,上海新世纪将每年至少进行一次跟踪评级,并出具跟踪评级报告。

第三节绪言
本上市公告书根据《公司法》《证券法》《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司证券发行注册管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》以及其他相关的法律法规的规定编制。

经中国证券监督管理委员会“证监许可〔2025〕1404号”文予以注册,公司于2025年8月6日向不特定对象发行可转换公司债券1,170.00万张,每张面值100元,发行总额117,000.00万元。本次发行的可转换公司债券向发行人在股权登记日(2025年8月5日,T-1日)收市后中国证券登记结算有限公司上海分公司登记在册的原股东优先配售,原股东优先配售后余额部分(含原股东放弃优先配售部分)采用通过上海证券交易所交易系统网上定价发行的方式进行,余额由保荐人(主承销商)包销。

经上交所“自律监管决定书〔2025〕197号”文同意,公司117,000.00万元可转换公司债券将于2025年8月27日起在上交所挂牌交易,债券简称“微导转债”,债券代码“118058”。

投资者可通过上海证券交易所网站(www.sse.com.cn)查询《江苏微导纳米科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券募集说明书》全文及本次发行的相关资料。

第四节发行人概况
一、发行人基本情况
公司名称:江苏微导纳米科技股份有限公司
英文名称:JiangsuLeadmicroNanoTechnologyCo.,Ltd.
注册地址:无锡市新吴区长江南路27号
注册资本:46,115.7283万元人民币
股票上市地:上海证券交易所
股票简称:微导纳米
股票代码:688147.SH
法定代表人:王磊
董事会秘书:龙文
联系电话:0510-81975986
公司网址:www.leadmicro.com
主营业务基本情况:
公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与销售,向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

在半导体领域内,公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商,是国内首批成功开发高温硬掩膜化学气相沉积设备并获得批量订单的国产设备厂商,也是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一。目前公司已与国内多家厂商建立了深度合作关系,相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示(硅基OLED等)、先进封装等诸多细分应用领域,多项设备关键指标达到先进水平,能够满足国内客户当前技术的需求。在光伏领域内,公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业,已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一,与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关XBC
系。同时,公司跟随下游厂商的量产节奏,持续优化 、钙钛矿、钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术,引领光伏行业技术迭代。

作为国家高新技术企业,公司先后荣获国家“专精特新”小巨人企业、国家知识产权优势企业、苏南国家自主创新示范区独角兽企业、江苏省小巨人企业(制造类)等称号,并被认定为国家博士后科研工作站、江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省原子层沉积技术工程研究中心、江苏省省级企业技术中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站,承担多项国家、省级重大科技专项。

公司自主研发的iTomicHiK系列ALD设备被认定为江苏省首台(套)重大装备以及第十五届“中国半导体创新产品和技术奖”,iTomicMW系列批量式ALD设备荣获中国集成电路创新联盟第七届“IC创新奖”。

二、历史沿革及股权变动情况
(一)公司设立、发行及上市、上市后的股本变化情况
1
、设立情况
(1)有限公司设立情况
2015年12月11日,王燕清、潘景伟、胡彬、刘兵武共同签署《江苏微导纳米装备科技有限公司公司章程》,约定微导有限注册资本为2,000.00万元,王燕清、潘景伟、胡彬、刘兵武分别认缴出资1,735.40万元、147.00万元、88.20万元、29.40万元,均为货币出资。

2015年12月25日,微导有限取得了无锡工商行政管理局新区分局核发的《营业执照》。微导有限设立时的股权结构如下:

序号股东名称出资金额(万元)出资比例
1王燕清1,735.4086.77%
2潘景伟1477.35%
3胡彬88.24.41%
4刘兵武29.41.47%
合计2,000.00100.00% 
(2)股份公司设立情况
2019年12月3日,微导有限董事会通过决议,同意微导有限以2019年10月31日为基准日,将经天职国际审计的净资产59,597,806.03元按照1:0.7551的比例折合成股份公司股本4,500万元,每股面值1元,共计4,500万股,其余部分14,597,806.03元计入股份公司资本公积。同日,微导纳米的发起人股东签署《江苏微导纳米科技股份有限公司发起人协议》。

2019年12月5日,微导纳米全体发起人召开股份公司创立大会暨2019年第一次临时股东大会,审议通过了《关于江苏微导纳米装备科技有限公司以账面净资产折股整体变更为股份公司的议案》等议案。

2019年12月5日,天职国际出具了《江苏微导纳米科技股份有限公司验资报告》(天职业字[2019]37647号),经审验,截至2019年12月5日,公司已收到全体股东以其拥有的微导有限净资产折合的实收资本4,500万元,余额14,597,806.03元计入资本公积。

2019年12月10日,微导纳米取得了无锡市市场监督管理局核发的《营业执照》。

2019年12月20日,微导纳米取得无锡市高新区(新吴区)商务局出具的《外商投资企业变更备案回执》(锡高管商资备201900507)。

整体变更完成后,微导纳米的股东及其出资情况如下:

序号股东名称持股数量(万股)持股比例出资方式
1万海盈投资2,907.2764.60%净资产折股
2LIWEIMIN535.396311.90%净资产折股
3聚海盈管理472.479410.50%净资产折股
4LIXIANG251.98085.60%净资产折股
5胡彬157.42513.50%净资产折股
6潘景伟112.4252.50%净资产折股
7德厚盈投资63.02311.40%净资产折股
序号股东名称持股数量(万股)持股比例出资方式
合计4,500.00100.00%- 
2、发行及上市情况
2021年11月4日,微导纳米2021年第四次临时股东大会通过决议,拟向社会公众公开发行人民币普通股(A股)4,544.5536万股。

经中国证监会《关于同意江苏微导纳米科技股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》(证监许可〔2022〕2750号)核准注册,首次公开发行人民币普通股(A股)4,544.5536万股。根据上交所《关于江苏微导纳米科技股份有限公司人民币普通股股票科创板上市交易的公告》(上证公告(股票)[2022]151号),发行人A股股本为45,445.5359万股,其中3,758.9098万股于2022年12月23日在上交所上市交易。

2023年3月9日,公司完成办理了相应的工商变更登记手续并领取了变更后的《营业执照》。

发行人本次发行前总股本为409,009,823股,本次发行的股票数量为45,445,536股,占发行后总股本的10.00%。本次发行全部为新股发行,不涉及公司股东公开发售股份。

3、公司上市后的股本变化情况
2024 7 24
发行人于 年 月 日召开第二届董事会第十四次会议,审议通过了《关于变更公司注册资本、修订<公司章程>并办理工商变更登记的议案》。公司2023年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的股份登记手续已完成,本次归属新增股份数量3,222,770股,并已于2024年6月13日在上海证券交易所上市流通。本次归属完成后,公司股份总数由454,455,359股增加至457,678,129股,公司注册资本由454,455,359元增加至457,678,129元。

发行人于2025年8月1日召开第二届董事会第二十四次会议,审议通过了《关于变更公司注册资本、修订<公司章程>并办理工商变更登记的议案》。公司2023年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期及预留授予部分第一个归属期的股份登记手续已完成,本次归属新增股份数量3,479,154股,并已于2025年6月3日在上海证券交易所上市流通。本次归属完成后,公司股份总数由457,678,129股增加至461,157,283股,公司注册资本由457,678,129元增加至461,157,283元。

(二)发行人股权结构
截至本上市公告书出具之日,公司股本结构如下表:

类别股份数量(股)所占比例(%)
无限售条件的流通股101,157,283.0021.94
有限售条件的股份360,000,000.0078.06
合计461,157,283.00100.00
注:公司已于2025年8月4日公告变更注册资本,截至目前尚未完成工商变更(三)前十大股东持股情况
截至2025年3月31日,公司前10大股东持股情况如下表所示:

序号股东名称持股数量(股)持股比例(%)
1无锡万海盈投资合伙企业(有限合伙)(现名西藏万海盈创 业投资合伙企业(有限合伙))232,581,62450.82
2LIWEIMIN42,831,7049.36
3无锡聚海盈管理咨询合伙企业(有限合伙)37,798,3528.26
4LIXIANG20,158,4644.40
5胡彬12,594,0082.75
6潘景伟8,994,0001.97
7无锡德厚盈投资合伙企业(有限合伙)5,041,8481.10
8银华基金国寿股份成长股票型组合单一资产管理计划(可供 出售)3,581,3840.78
9无锡毓立创业投资合伙企业(有限合伙)3,501,4170.77
10银华中小盘精选混合型证券投资基金3,358,0410.73
合计370,440,84280.94 
三、发行人的主营业务情况
(一)发行人主营业务
公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积(ALD)技术为核心,化学气相沉积(CVD)等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系,专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与销售,向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

在半导体领域内,公司是国内首家成功将量产型High-k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商,是国内首批成功开发并进入产业链核心厂商量产线的硬掩膜化学气相沉积设备(CVD)国产厂商,也是行业内率先为新型存储提供薄膜沉积技术支持的设备厂商之一。目前公司已与国内多家厂商建立了深度合作关系,相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示(硅基OLED等)、先进封装等诸多细分应用领域,多项设备关键指标达到先进水平,能够满足国内客户当前技术的需求。在光伏领域内,公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业,已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一,与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系。同时,公司跟随下游厂商的量产节奏,持续优化XBC、钙钛矿、钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术,引领光伏行业技术迭代。

作为国家高新技术企业,公司先后荣获国家“专精特新”小巨人企业、国家知识产权优势企业、苏南国家自主创新示范区独角兽企业、江苏省小巨人企业(制造类)等称号,并被认定为国家博士后科研工作站、江苏省原子层沉积技术工程技术研究中心、江苏省原子层沉积技术工程研究中心、江苏省省级企业技术中心、江苏省外国专家工作室、江苏省博士后创新实践基地、江苏省研究生工作站,承担多项国家、省级重大科技专项。

公司自主研发的iTomicHiK系列ALD设备被认定为江苏省首台(套)重大装备以及第十五届“中国半导体创新产品和技术奖”,iTomicMW系列批量式ALD设备荣获中国集成电路创新联盟第七届“IC创新奖”。

(二)发行人主要产品
公司目前已开发和正在开发适用于半导体、光伏等应用领域的多款薄膜沉积设备,并提供配套产品及服务,具体如下:
1、半导体领域

产品系列产品图示产品说明
iTomic系列 原子层沉积 系统 适用于高介电常数(High-k)栅氧层、MIM电容器绝 缘层、TSV介质层等薄膜工艺需求。产品凭借原子级 别的精确控制、沉积薄膜的高覆盖率和超薄膜厚的均匀 性,可为逻辑芯片、存储芯片提供介质层等关键工艺解 决方案。
iTomicMW 系列批量式 原子层沉积 系统 采用创新的批量型(mini-batch)腔体设计,可一次处 理25片12英寸晶圆,适用于成膜镀率低、厚度要求高 以及产能要求高的关键工艺及应用。产品利用特有的流 场设计,具有成膜速度快、占地面积小、产能高、使用 成本低等优势,为存储芯片以及Micro-OLED显示器、 MEMS等提供定制化量产的解决方案。
iTomicLite系 列轻型原子 层沉积系统 产品采用原创设计开发的自动化平台与模块化ALD反 应腔相结合,可以按需配置PEALD或ThermalALD等 工艺需求。产品具有强大的兼容性,其硬件配置在保持 量产机型强大功能的前提下,可满足各类晶圆尺寸(6、 8英寸)量产工艺需求,同时也可满足客户高端研发和 新工艺试量产需求,可广泛应用于MEMS、光电器件 等泛半导体器件领域。
iTomicPE系 列等离子体 增强原子层 沉积系统 产品可根据不同温度要求制备氧化硅、氮化硅、氮氧化 硅、氮碳化硅等薄膜,通过精准快速控制成膜速度、低 反应温度、材料配比等技术,实现材料厚度均匀性、膜 应力、热过程以及阶梯覆盖率等极具挑战的工艺需求。 可为逻辑芯片、存储芯片、先进封装等提供客制化掩膜 层、介质层、多级图案化等关键工艺解决方案。
iTronix系列 化学气相沉 积系统 产品采用自主研发的反应腔室和电气软件集成化服务, 在逻辑、存储、先进封装、显示器件等芯片制造领域具 有广泛应用,可满足多种功能性薄膜沉积工艺的开发和 应用需求。搭载新型平台可安装更多反应腔以满足高产 能需求。
产品系列产品图示产品说明
Trancendor系 列晶圆真空 传输系统 公司独立研发的、适用于高产能半导体制程设备的晶圆 传输系统。该系统可根据客户工艺需要,灵活挂载一至 多个工艺腔体(每个工艺腔体可配备一至多个工作站) 在真空环境下进行快速高效晶圆传输。
2、光伏领域

产品系列产品图示产品说明
夸父(KF)系列批 量式ALD系统 采用原创的反应腔体设计和先进的薄膜沉积技术及自 动化集成技术,可为高效晶硅太阳能电池表面钝化提供 高质量超薄钝化膜的制备,确保电池光电转换效率的进 一步提升。基于成功量产机型的设计原理,该产品是公 司原创设计的第七代产品,代表了光伏行业国产创新设 备的先进技术,在提供超高产能的同时,最大程度降低 设备的运营成本,为客户提供可靠的量产解决方案,引 领光伏产业化高效电池智能化制造。
祝融(ZR)系列管 式PEALD/PECVD 系统 祝融系列(ZR5000×1)管式PECVD系统突破性解决 传统管式PECVD的产能瓶颈,可与公司ALD钝化技术 无缝对接,确保PERC、TOPCon、XBC等高效电池生 产。以先进技术和装备高度集成,形成高质量、高产能、 低成本的产业化量产。祝融系列(ZR5000×2)管式 PEALD/PECVD集成系统利用公司原创设计的工业级等 离子体增强原子层沉积(PEALD)技术,以及行业创新 的PEALD/PECVD同管技术,实现了超高产能的批量型 PEALD镀膜,是ALD领域量产化技术又一次突破,专 为接触钝化技术(TOPCon、HPBC、SHJ、POLO和TBC) 量身定制,为后PERC高效电池技术提供可靠的量产解 决方案,引领光伏产业化高效电池智能化制造。祝融系 列(ZR5000×3)管式PEALD/PECVD集成系统一体式 设计实现氮化硅正膜、氧化铝/背膜、氧化硅/多晶硅钝 化膜一站式完成,可实现单道产能翻倍,节省占地面积。 同时兼具先进的制造执行管理系统(MES)和自动导引 车(AGV)对接功能。在提供超高产能的同时,最大程 度降低设备的运营成本,为后PERC高效电池技术提供 理想可靠的量产解决方案,引领光伏产业化高效电池智 能化制造。
羲和(XH)系列 高温低压系统 采用原创设计的高温热场控制技术,真正实现了兼容 磷、硼两种扩散工艺,其中硼扩散工艺又兼容BBr3和 BCl3两种工艺源。独创的冷却技术可提升设备与零件的 使用寿命,同时缩短了工艺时间,为PERC+和TOPCon
产品系列产品图示产品说明
  等下一代量产高效电池的提效降本,提供了全套的主机 及先进的工艺解决方案。此外,羲和系统也提供退火、 氧化和低压化学气相沉(LPCVD)功能。
后羿(HY)系列 板式ALD系统 采用自主知识产权的真空腔内温场和流场设计,实现空 间型原子层沉积镀膜工艺方式,为钙钛矿薄膜太阳能电 池组件产线提供高质量氧化物功能薄膜材料,以确保量 产组件的高效率和长寿命。面向平米级玻璃衬底,适配 线型产线的生产节拍,集成成熟的上下料自动化方案, 为客户提供可靠的大规模量产高速镀膜解决方案。
3、其他新兴应用领域

产品系列产品图示产品说明
iSparol系 列卷对卷 ALD系统 基于自主研发,将超大空间型ALD镀膜技术与真空卷对卷技 术结合,开发大型卷对卷原子层沉积镀膜平台。其中平台集 成超大型平面原子层沉积(ALD)系统,并开发满足产业化 量产的成熟工艺材料体系,实现在超大宽幅柔性基材上制备 高阻隔膜的整体解决方案。经过多年产业化验证和装备升级 已经迭代到二代产品。
除上述专用设备外,公司还为客户提供配套产品及服务,主要包括设备改造、备品备件及其他两类业务。

①设备改造:公司的设备采用模块化设计,公司可以针对市场需求和技术发展趋势,为已销售的在役设备提供改造服务,以帮助下游客户用较少的成本达到降本增效的效果,提高设备服役年限。公司目前的设备改造集中在光伏领域设备,设备改造的内容主要包括尺寸改造、工艺改造等。

②备品备件及其他:公司设备在运行过程中,部分零部件会出现正常损耗,因此下游客户需向公司采购易损耗的零部件。公司还针对设备零部件提供清洗、耗材更换等后续服务。

(三)发行人的行业地位
在半导体领域内,公司已与国内多家头部半导体厂商建立了深度的合作关系,ALD产业化应用迅速发展的同时,藉由现有的薄膜沉积类产品研发、推广和产业化的经验,CVD
开发了以 为代表的多种真空薄膜技术产品,相关产品涵盖了逻辑、存储、化合物半导体、新型显示、先进封装等细分应用领域,多项设备的镀膜质量、产能水平、稳定运行能力等关键指标均已达到了先进水平。高介电常数(High-k)栅氧薄膜工艺难度较大,公司是国内首家将其成功量产应用于集成电路制造前道生产线的设备公司,也是国内少数成功将该类设备应用于新型存储器制造生产线的设备厂商,并已获得客户重复订单认可。

在光伏领域内,公司作为率先将ALD技术规模化应用于国内光伏电池生产的企业之一,已成为行业内提供高效电池技术与设备的领军者之一。公司与国内头部光伏厂商形成了长期合作伙伴关系,相关产品已在新型电池产线上得到下游客户广泛认可,在同类型产品中市场占有率位居第一梯队,并积极开拓海外市场以不断发掘收入增长点。同时,公司在CVD设备上也持续突破,针对TOPCon电池技术核心的隧穿氧化层与多晶硅薄膜研发了可镀导电膜的管式PECVDToxPoly集成技术方案,并成功将研发成果产业化,新技术在TOPCon的扩产浪潮中也逐步受到行业的认可,PEPoly设备的市场占有率不断攀升,客户群体包括通威股份阿特斯晶科能源天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商。

(四)发行人的竞争优势
1、先进技术路线优势
公司以ALD技术为核心,专注于ALD工艺技术研发和应用场景拓展。ALD工艺可以在100%阶梯覆盖率的基础上实现原子层级(1个纳米约为10个原子)的薄膜厚度。

随着制程技术节点的不断进步,ALD工艺优异的沉积均匀性和一致性使得其在微纳电子学和纳米材料等领域具有广泛的应用潜力,会越来越受到青睐。

此外,ALD技术作为一种具有普适意义的真空镀膜技术,在柔性电子等新型显示、MEMS、催化及光学器件等诸多高精尖领域均拥有良好的产业化前景。上述任一领域的应用前景均体现了ALD的技术特点及优势,为公司的后续发展提供了广阔市场空间。

2、优秀的研发团队和完善的产业化应用中心平台的优势
公司创始团队、核心管理人员拥有丰富的国内外顶级半导体设备公司研发和运营管理经验,并积极引入和培养一批经验丰富的电气、工艺、机械、软件等领域工程师,形成了跨专业、多层次的人才梯队。公司的研发技术团队结构合理,专业知识储备深厚,工艺开发、产线验证经验丰富,是奠定公司技术实力的基石。

同时,公司已建立的产业化应用中心以现有技术为基础,围绕国产设备自主生产的战略需求,结合行业内最前沿的技术发展趋势和市场需求,针对先进技术和工艺性能,搭建了研发平台、高端研发人才培养平台以及未来新项目、新企业发展孵化器。产业化应用中心使公司具有前瞻应用定制化能力,可为客户提供全场景Demo设备线,从而能够及时响应客户的各类需求,为客户提供全方位的解决方案。

3、技术积累与研发创新能力优势
公司坚持自主研发,已形成先进半导体器件薄膜加工技术、薄膜沉积反应器设计技术、高产能真空镀膜技术、真空镀膜设备工艺反应气体控制技术等十一项核心技术,上述核心技术成功应用于公司各类产品。公司半导体iTomicHiK系列ALD设备和光伏KF系列ALD设备均被评为江苏省首台(套)重大装备产品,半导体领域设备成为国产首台成功应用于集成电路制造前道生产线的量产型High-k原子层沉积设备,其他产品也已在半导体及泛半导体领域经过量产验证,并获得重复订单。

4、平台化的产品矩阵布局优势
公司的设备产品覆盖半导体、光伏、柔性电子等不同的下游应用市场。在半导体领域,公司以ALD为核心正逐步拓展CVD等多种镀膜技术和产品;在光伏领域,公司ALD
持续推进以 为核心的工艺整线策略和新一代高效光伏电池技术开发;公司同时依托产业化应用中心平台探索先进薄膜沉积技术在其他新兴应用领域的发展机会。多领域、多品类产品覆盖能够一定程度平抑各细分市场波动对公司业绩带来的影响,同时不断拓宽公司市场规模和成长空间。

5
、优质客户资源优势
在半导体领域内,公司率先攻克难度较高的逻辑电路栅氧层氧化铪工艺并获得了客户的重复订单,为公司向全工艺段覆盖奠定客户基础。公司先后获得逻辑、存储、化合物半导体、新型显示和先进封装领域内多家国内知名半导体公司的商业订单,并与多家国内主流半导体厂商及验证平台签署了保密协议并开展产品技术验证等工作。光伏领域已覆盖包括通威股份隆基绿能晶澳科技晶科能源阿特斯天合光能等在内的多家知名太阳能电池片生产商,其中在钙钛矿电池领域,公司首台应用于钙钛矿晶硅叠层电池管式ALD量产设备取得客户验收,应用于钙钛矿电池的板式ALD设备获得行业头部客户百兆瓦级量产设备订单。

6、高效客户服务优势
公司主要产品为非标准化产品,通过将基础研发与行业应用紧密结合,以下游企业的实际需求为研发导向,为客户定制化开发可量产的工艺及设备。公司技术服务体系健全,能够为客户提供驻厂技术服务支持,实现及时现场排查故障、解决问题,保证快速响应客户的需求,缩短新产品导入的工艺磨合时间,从而建立起差异化竞争优势,提升下游客户满意度。

四、公司控股股东、实际控制人基本情况和上市以来的变化情况
(一)控股股东、实际控制人的基本情况
1、控股股东基本情况
截至本上市公告书出具之日,西藏万海盈创业投资合伙企业(有限合伙)(曾用名无锡万海盈投资合伙企业(有限合伙),以下简称“万海盈投资”)持有公司23,258.16万股股份,占总股本的50.43%,为公司的控股股东,其基本情况如下:
公司名称西藏万海盈创业投资合伙企业(有限合伙)
统一社会信用代码91320214MA1W4B4N3A
注册资本13,190.9209万元
注册地址西藏自治区拉萨市达孜县德庆镇达孜工业园区创业基地大楼407号 2-17-09C
营业期限2020年8月19日至无固定期限
经营范围一般项目:创业投资(限投资未上市企业)(除依法须经批准的项目外, 自主开展法律法规未禁止、限制的经营活动)
截至2025年3月31日,万海盈投资的股权结构如下:

序号股东姓名在发行人任职情况出资额(万元)出资比例(%)
1王磊董事长10,552.7367280.00
2倪亚兰董事2,638.1841820.00
序号股东姓名在发行人任职情况出资额(万元)出资比例(%)
-合计-13,190.92090100.00
最近一年,万海盈投资的主要财务数据如下:
单位:万元

项目2024年12月31日
总资产14,715.24
净资产12,705.94
项目2024年度
营业收入-
净利润-5.51
注:以上财务数据未经审计。

2、实际控制人基本情况
截至本上市公告书出具之日,王燕清、倪亚兰、王磊组成的家族通过万海盈投资、聚海盈管理、德厚盈投资间接控制公司59.72%股份,王燕清、倪亚兰、王磊系公司的实际控制人,同时王磊担任公司董事长、倪亚兰担任公司董事;王燕清、倪亚兰系夫妻关系,王磊系王燕清、倪亚兰之子。

王燕清先生,1966年4月出生,中国国籍,无境外永久居留权,住所为江苏省无锡市****,毕业于常州无线电工业学校模具设计与制造专业。其主要任职经历为:1986年至1999年任无锡县无线电二厂设备助理工程师;2000年创立无锡先导电容器设备厂(后改名为“无锡煜玺科技有限公司”);2002年设立无锡先导自动化设备有限公司(后改名为“无锡先导智能装备股份有限公司”),任董事长、总经理;2011年12月至今任先导智能董事长、总经理。

倪亚兰女士,1970年11月出生,中国国籍,无境外永久居留权,初中学历,住所为海口市琼山区****。其主要任职经历为:2002年至2011年11月,担任无锡先导自动化设备有限公司总经理办公室助理;2011年5月至2016年1月,担任无锡嘉鼎投资有限公司(上海卓遨前身)总经理;2016年1月至2020年12月,担任上海卓遨执行事务合伙人;2012年2月至今,担任欣导投资总经理;2015年12月至2019年12月,担任微导有限董事;2017年12月至2019年12月,担任微导有限总经理;2019年12月至今,担任公司董事。

王磊先生,1993年11月出生,中国国籍,无境外永久居留权,住所为江苏省无锡市****,本科学历,毕业于新泽西州立大学计算机和数学专业。其主要任职经历为:2017年6月至2017年9月就职于喜开理(中国)有限公司;2017年9月至2018年2月就职于江苏恒云太信息科技有限公司;2018年2月至今任先导智能董事;2018年10月至2019年12月,担任微导有限董事长;2019年12月至今,担任公司董事长。

(二)控股股东和实际控制人的股权质押情况
截至本上市公告书出具之日,公司控股股东、实际控制人无股份质押情况。

第五节发行与承销
一、本次发行情况
1、发行数量:本次发行可转债总额为人民币117,000.00万元,发行数量1,170,00011,700,000
手( 张)。

2、向原股东发行的数量和配售比例:本次发行向原股东优先配售1,040,835手,即1,040,835,000元,约占本次发行总量的88.96%。

3、发行价格:按票面金额平价发行。

4、可转换公司债券的面值:每张面值100元人民币。

5、募集资金总额:人民币117,000.00万元。

6、发行方式:本次发行的可转债向发行人在股权登记日(2025年8月5日,T-1日)收市后中国结算上海分公司登记在册的原股东优先配售,原股东优先配售后余额(含原股东放弃优先配售部分)通过上交所交易系统网上向社会公众投资者发行,余额由保荐人(主承销商)包销。

7、配售比例:
原股东优先配售1,040,835手,总计1,040,835,000元,约占本次发行总量的88.96%;网上社会公众投资者实际认购126,669手,即126,669,000元,约占本次发行总量的10.83%。保荐人(主承销商)包销可转换公司债券的数量合计为2,496手,包销金额为2,496,000元,约占本次发行总量的0.21%。

8、前十名可转换公司债券持有人及其持有量
截至2025年8月13日,本次可转换公司债券前10名债券持有人明细如下表所示:
序号持有人名称持有数量(手)占总发行量比例
1西藏万海盈创业投资合伙企业(有限合伙)594,71150.83%
2LI,WEIMIN109,5219.36%
3无锡聚海盈管理咨询合伙企业(有限合伙)96,6508.26%
4LI,XIANG51,5454.41%
序号持有人名称持有数量(手)占总发行量比例
5胡彬32,2032.75%
6潘景伟22,9981.97%
7无锡德厚盈投资合伙企业(有限合伙)12,8921.10%
8中国银行股份有限公司-华泰柏瑞中证光伏 产业交易型开放式指数证券投资基金4,5890.39%
9招商银行股份有限公司-南方中证 交易 1000 型开放式指数证券投资基金3,2080.27%
10中信建投证券股份有限公司-天弘中证光伏 产业指数型发起式证券投资基金2,9410.25%
9、发行费用总额及项目
本次发行费用(不含税)共计1,107.84万元,具体包括:

序号项目名称金额(万元)
1承销及保荐费用772.64
2会计师费用156.60
3律师费用66.00
4资信评级费用37.74
5信息披露及发行手续等费用74.86
合计1,107.84 
10、募集资金专项存储账户

账户名称开户行名称开户行账户
江苏微导纳米科技股份有限公司上海浦东发展银行无锡新区支行84050078801900000923
江苏微导纳米科技股份有限公司中国光大银行股份有限公司无锡分行 营业部39920180806011220
江苏微导纳米科技股份有限公司中信银行股份有限公司无锡滨湖支行8110501012702765860
二、本次发行的承销情况
本次可转换公司债券发行总额为117,000.00万元(1,170,000手)。向发行人原股东优先配售的微导转债为1,040,835,000元(1,040,835手),约占本次发行总量的88.96%;网上社会公众投资者实际认购126,669,000元(126,669手),约占本次发行总量的10.83%;保荐人(主承销商)包销2,496,000元(2,496手),占本次发行总量的0.21%。

三、本次发行资金到位情况
本次发行可转换公司债券募集资金扣除承销及保荐费用后的余额已由保荐人(主承销商)于2025年8月12日汇入公司指定的募集资金专项存储账户。中兴华会计师事务所(特殊普通合伙)于2025年8月13日对本次发行的资金到位情况进行了审验,并出具了编号为中兴华验字(2025)第430011号的《验资报告》。

第六节发行条款
一、本次发行基本情况
1、本次发行的批准情况:本次可转债发行方案已经公司于2025年8月1日召开的第二届董事会第二十四次会议审议通过。

中国证券监督管理委员会已于2025年7月4日出具《关于同意江苏微导纳米科技股份有限公司向不特定对象发行可转换公司债券注册的批复》(证监许可〔2025〕1404号),同意公司向不特定对象发行可转换公司债券的注册申请。

2、证券类型:可转换公司债券。

3、发行规模:人民币117,000.00万元。

4、发行数量:1,170.00万张。

5、上市规模:人民币117,000.00万元。

6、发行价格:按面值发行,每张面值人民币100元。

7、募集资金量及募集资金净额:本次可转债的募集资金为人民币117,000.00万元,扣除发行费用(不含税)后的募集资金净额为115,892.16万元。

8、募集资金用途:本次向不特定对象发行可转债募集资金总额为117,000.00万元,扣除发行费用后的净额,拟用于以下项目:
单位:万元

序号项目名称项目投资总额拟投入募集资金金额
1半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设项目67,000.0064,280.00
2研发实验室扩建项目43,000.0022,720.00
3补充流动资金30,000.0030,000.00
合计140,000.00117,000.00 
在本次募集资金到位前,公司将根据募集资金投资项目实施进度的实际情况通过自筹资金先行投入,并在募集资金到位后按照相关法规规定的程序予以置换。如果本次发公司以自有或自筹资金解决。在不改变本次募集资金投资项目的前提下,公司董事会可根据项目的实际需求,对上述项目的募集资金投入顺序和金额进行适当调整。

二、本次可转换公司债券发行条款
(一)债券期限
本次发行的可转债的期限为自发行之日起六年,即自2025年8月6日(T日)至2031年8月5日(如遇法定节假日或休息日延至其后的第1个交易日;顺延期间付息款项不另计息)。

(二)票面金额和发行价格
本次发行的可转债每张面值为人民币100元,按票面价格发行。

(三)票面利率
本次发行的可转债票面利率设定为:第一年0.20%、第二年0.40%、第三年0.80%、第四年1.20%、第五年1.50%、第六年2.00%。

(四)转股期限和转股来源
本次发行的可转债转股期限自发行结束之日(2025年8月12日,T+4日)起满六个月后的第一个交易日(2026年2月12日,非交易日顺延)起至可转债到期日(2031年8月5日)止(如遇法定节假日或休息日延至其后的第1个交易日;顺延期间付息款项不另计息)。

本次发行的可转换公司债券转股股份全部来源于新增股份。

(五)评级情况
上海新世纪对本次发行的可转债进行了评级,根据上海新世纪出具的信用评级报告,主体信用等级为“AA”,本次可转债信用等级为“AA”,评级展望为稳定。

在本次发行的可转债存续期间,上海新世纪将每年至少进行一次跟踪评级,并出具跟踪评级报告。

(六)保护债券持有人权利的办法及债券持有人会议相关事项
1、债券持有人的权利
(1)依照其所持有的本次可转换公司债券数额享有约定利息;
(2)根据《募集说明书》约定条件将所持有的本次可转债转为公司股票;(3)根据《募集说明书》约定的条件行使回售权;
(4)依照法律、行政法规及《公司章程》的规定转让、赠与或质押其所持有的本次可转债
(5)依照法律、《公司章程》的规定获得有关信息;
(6)按照《募集说明书》约定的期限和方式要求公司偿付本次可转债本息;(7)依照法律、行政法规等相关规定参与或者委托代理人参与债券持有人会议并行使表决权;
(8)法律、行政法规及《公司章程》所赋予的其作为公司债权人的其他权利。

2、债券持有人的义务
(1)遵守公司所发行的本次可转债条款的相关规定;
(2)依其所认购的本次可转债数额缴纳认购资金;
(3)遵守债券持有人会议形成的有效决议;
(4)除法律、法规规定及《募集说明书》约定之外,不得要求公司提前偿付本次可转债的本金和利息;
(5)法律、行政法规及《公司章程》规定应当由本次可转债持有人承担的其他义务。

3、债券持有人会议的召集
在本次可转债存续期间内及期满赎回期限内,当出现以下情形之一时,应当召集债券持有人会议:
(1)公司拟变更《募集说明书》的约定;
(2)公司未能按期支付当期应付的可转换公司债券本息;
(3)公司发生减资(因员工持股计划、股权激励或公司为维护公司价值及股东权益所必需回购股份导致的减资除外)、合并、分立、解散或者申请破产;(4)担保人(如有)或担保物(如有)发生重大变化;
(5)公司拟变更、解聘债券受托管理人或者变更债券受托管理协议的主要内容;(6)在法律法规和规范性文件规定许可的范围内,对债券持有人会议规则的修改作出决议;
(7)公司管理层不能正常履行职责,导致公司债务清偿能力面临严重不确定性;(8)公司提出债务重组方案的;
(9)发生其他对债券持有人权益有重大实质影响的事项;
(10)根据法律、行政法规、中国证监会、上海证券交易所及《江苏微导纳米科技股份有限公司可转换公司债券持有人会议规则》的规定,应当由债券持有人会议审议并决定的其他事项。

下列机构或人士可以提议召开债券持有人会议:
(1)公司董事会;
(2)债券受托管理人;
(3)单独或合计持有本次可转债当期未偿还的债券面值总额10%以上的债券持有人;
(4)法律法规、中国证监会、上海证券交易所规定的其他机构或人士。

公司已制定了《江苏微导纳米科技股份有限公司可转换公司债券持有人会议规则》,约定有关债券持有人会议的权利、程序和决议生效条件等相关事项,以及应当召开债券持有人会议的事项,以保护本次可转换公司债券持有人的权利。可转债持有人会议按照相关法律法规的规定及会议规则的程序要求所形成的决议对全体可转债持有人具有约束力。(未完)
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